电子探针显微分析仪

电子探针显微分析仪，类型电子显微镜用于提供化学信息。(一个限制传统电子显微镜的最大缺点是它不能进行元素分析。电子-探针微量分析仪自1947年以来已开发用于进行无损元素分析，其分辨率接近于透射电子显微镜(TEM)。这是通过测量特征的能量和强度来完成的x射线当聚焦时试样发出的电子束撞击它。就像扫描电子显微镜(SEM)，探针被扫描，这样所选元素的分布图像就可以建立在阴极射线管．

x射线微探针分析已被证明是如此有价值，以至于大多数sem以及许多tem现在都配备了x射线光谱仪作为附件。这项技术在中国得到了广泛的应用矿物学，冶金、固态科学以及临床和生命科学领域。