麦克劳德压力计

麦克劳德的Gauge利用了波义耳氏定律(在温度恒定的情况下,一定数量气体的压力和体积的乘积保持不变),以确定在10到10的范围内的气体压力6托。提高麦克劳德压力表中的水银水平可以密封压力表所连接系统中的气体。当汞含量进一步升高时,气体就会被压缩。在这个被困体积和系统被疏散之间的汞水平的差异直接对应于在被困体积的压力托尔。由于压力表只取决于已知的被困初始体积、最终压缩体积和最终体积中的压力——所有这些都可以直接测量——它被称为绝对压力表,主要是一种标准校准其他指标。

热导率计

两种类型的热导率仪,皮拉尼和热电偶,通过热灯丝散热的速率来确定压力。皮拉尼测量仪基本上是惠斯通电桥用一只手臂的形式在加热灯丝放置真空系统。灯丝的电阻取决于它的温度,而温度又取决于它的导电速率耗散热能通过残余气体。残余气体的压力和导热特性对热能耗散有影响。电桥由恒压电源供电,由于温度变化导致的不平衡电流在torr中直接表示。在热电偶表中,热电偶的热结连接到真空系统中的灯丝上,并由恒压源供电。除了灯丝的温度指示压力外,其操作模式与皮拉尼相同。这些仪表坚固耐用,操作简单,覆盖范围从100到104托。

冷阴极电离

这一计利用的事实,离子生产的速度由一个流电子在真空系统中依赖于压力和剩余气体的电离概率。也称为Penning规,它由两个相对的阴极和一个阳极组成,阳极中间间隔在一个金属或玻璃外壳内。在信封外的永久磁铁提供一个磁场延长电子从阴极到阳极的行进路径,从而增加量规内发生的电离量。正常情况下,阳极工作电压约为2千伏,从而产生a直流电由积极因素引起的离子到达阴极。压力由产生的直流电的大小直接表示。该压力表所覆盖的压力范围低至107托。由于它坚固耐用,使用简单,被广泛应用于工业系统中。

热丝电离计

该规的工作原理类似于潘宁规,除了电子是由热灯丝产生并加速到网格。所覆盖的压力范围是1到105Torr或10-2到107Torr,取决于电极结构。电子发出从灯丝中电离出的残余气体分子被抽离到容器中;到达收集器板的离子电流与残余气体的压力和电离概率成正比。这是一个干净,准确的量规,可以使用到大约106托;在这个压力下,由于电子撞击网格产生的软x射线,其精度会降低。这些x射线在收集器电路中产生与压力无关的电流。

Bayard-Alpert热丝电离计。在这个电离计中横截面将收集器的功率减小到最小,以减小x射线效应。这是通过反转仪表来实现的,也就是说,收集器(一根细电线)被网格包围。所覆盖的压力范围为103到109Torr或降至10-11年如果使用调制仪器,则为Torr。工作原理与上述其他电离计相同。

这篇文章最近被修订和更新卡拉罗杰斯