蒸汽扩散泵
该泵主要用于设备清洁表面,研究射频溅射。能力可达190000立方英尺每分钟的操作压力范围102不到109托使用水冷挡板时,不到10-11年托当冷藏挡板。蒸汽泵的抽速从大约10保持不变3托,远低于泵的极限压力限制液体是最好的液体的压力比109托。的扩散泵是最初由一个疏散中的旋转泵的压力约0.1托或更少。泵流体在锅炉加热时,它会生成一个锅炉的压力几托在飞机装配。高速汽流走出飞机组装、冲击和压缩或气冷式水泵的墙壁,并返回到锅炉。在正常操作的一部分任何气体到达进气射流携入的,压缩,转移到下一个阶段。重复这个过程,直到气体被机械预备真空泵。
溅射离子泵
能力每分钟可达14000立方英尺,操作压力范围的102托,低于10-11年托。泵的全速发展的压力从大约106到108托,尽管特性在较低的压力取决于泵的设计。该泵利用溅射原理、阴极材料如钛的汽化或者通过与高速离子轰击气急败坏的说。活跃的气体被排放的化学结合气急败坏的钛,惰性气体的电离和埋葬在阴极,和轻气体扩散阴极。
一个典型的泵包括两个平面矩形的阴极不锈钢阳极之间由大量的开放式的盒子。这个大会,安装在一个狭窄的盒子连接到真空系统,周围是永久磁铁。潜在的阳极操作大约7千伏(kV),而阴极接地电位。
溅射离子泵寿命长,能提供超高真空,自由的有机污染和振动。他们主要用于清洁表面的研究和在这些应用程序任何有机污染将给不满意的结果。
钛升华泵
能力是可用的成千上万的每分钟立方英尺,操作压力范围的103低于10-11年托。完整的泵的速度,只有泵化学活性气体,在压力低于10发达5托。在这种类型的泵,钛是升华在泵上墙从电阻或一个电子束加热源。活跃的气体被排放的化学结合,但不注入惰性气体。因此,必须始终使用它与扩散或溅射离子泵。在压力低于105托该片将沉积速度快于它被消耗,允许沉积不时地进行而不是在连续的基础上。升华泵通常结合使用溅射离子泵在应用程序需要一个高速和自由从有机污染是必不可少的,如材料的蒸发到干净的表面上。
吸附泵
通常,这些泵的大小大约是1000克的吸着剂材料,保留了气体分子在其表面。他们能够从大气到102托或可用于系列105托。在大多数情况下的吸着剂材料是分子滤网,被处理的材料多孔,孔隙大小与分子的大小,虽然还可以采用活性炭。的吸附剂是定位在一个圆柱形容器连接到真空系统,可以沉浸在对过冷液氮吸附过程的援助。吸着剂时的气体被释放回到室温。该泵主要用于侦察系统在溅射离子和钛升华泵为确保自由从有机污染。
低温泵
这种类型的泵利用极低温度凝结气体,从而从系统中删除它们。注入数百万立方英尺每分钟的速度可能与低温泵的压力范围103托远低于10-10年托。这种类型的泵可以开发其全速曲线在整个范围。最低温泵的使用氦冷却低温表面;氦可以以气体的形式在大约15 K或液态氦在4.2 K。低温泵,这取决于冷凝气体的抽速,不会有效泵气体,如氢和氦,蒸汽压力高低温表面。因此,扩散或溅射离子泵的互补能力是必要的辅助低温泵vacuum-producing系统。大多数此类泵用于高海拔或空间模拟。